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R21SL 系列膜片式減壓器，輸出壓力穩定，特別適用于氣體分析儀器、各種高純氣體、腐蝕性氣體及有毒氣體。

結構特點 Features

單級式減壓結構

膜片與母體采用硬密封形式

母體接口螺紋：1/4" NPT(F)

安全壓力：1.5 倍的zui大輸入壓力

適用溫度：-40°C 至 74°C (-40°F 至 165°F)

泄漏率：2 x 10-8 atm.cc/sec He

CV 值：0.14

重量：0.9 kg (2.0 lbs)

材質 Materials

母體：316L

閥座：PCTFE，PTFE，Vespel?

膜片：316L，Hasloy?

適用范圍 Typical Applications

半導體制程

實驗室

氣相分析

測試儀表

石油化學工業

電廠設備

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