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      全自動氣柜的功能設計
      瀏覽次數:1929發布日期:2022-07-08

      GC特氣柜(Gas Cabinet)和GR特氣架(Gas Rack)的功能安裝設計

      特氣柜Gas Cabinet是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險性氣體供應而設計的供應系統,按類別可分為:全自動、半自動和手動操作。基本功能包括自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷(當設定報警信號被觸發時)。

      全自動氣柜通過采用PLC控制,觸控屏為人機界面,通過設備安裝的壓力傳感器、氣動閥、過流量計等裝置,實現設備安全有效的運行。其內部PLC程式設計的安全聯鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局,既滿足了半導體工藝生產過程中對特殊氣體連續供給和高純度的要求,同時也確保了工廠正常生產和員工人身安全。下面由京南華建技術為大家簡單介紹一下GC特氣柜(Gas Cabinet)和GR特氣架(Gas Rack)的功能設計。

      特氣柜/架,VMB/VMP簡介

      GC—Gas Cabinet 氣瓶柜(用于危害性氣體) GR—Gas Rack 氣瓶架(用于危害性氣體)

      VMB—Valve Manifold Box 閥門箱(用于危害性氣體) VMP—Valve Manifold Panel 閥門盤(用于危害性氣體) 特氣柜和VMB主要用于易燃易爆腐蝕有毒等危害性氣體,而氣瓶架和VMP一般用于非危害性氣體;主要區別在于,特氣柜和VMB都要有一個外殼上有抽風管,當發生小泄露等危險情況時可將此類氣體排出去避免擴散產生更大危險。

      全自動氣柜的功能設計